Teknologi salutan mesin salutan vakum optik

Mesin salutan vakum optik digunakan secara meluas dalam industri, seperti kamera telefon bimbit, sarung telefon bimbit, skrin telefon bimbit, penapis warna, kanta cermin mata, dan lain-lain. Standard ketepatan adalah sangat tinggi, dan pelbagai lapisan boleh disalut, seperti AR filem anti-pantulan, filem plastik seni hiasan, filem seramik motor, filem reflektif yang dipertingkatkan, filem konduktif ITO, dan filem anti-kotoran mempunyai peratusan jualan yang tinggi di pasaran.

Apakah teknologi pemprosesan yang digunakan oleh mesin salutan vakum optik untuk melapisi begitu banyak lapisan?

Apabila mesin salutan vakum optik meruap dan terkumpul, bahan mentah sumber dalam sistem vakum dipanaskan atau pancaran ion elektron negatif untuk meruap. Wap disyaki berada pada permukaan optik. Semasa tempoh volatilisasi, mengikut manipulasi pemanasan yang tepat, tekanan kerja pam vakum, dan kedudukan dan putaran substrat yang tepat, salutan optik seragam dengan ketebalan khas boleh dihasilkan. Volatilisasi mempunyai ciri yang agak lembut, yang akan menjadikan salutan semakin longgar atau berliang. Salutan longgar jenis ini mempunyai keupayaan untuk menyerap air, yang mengubah indeks biasan filem yang munasabah, yang akan mengakibatkan ciri-ciri berkurangan. Salutan meruap boleh dipertingkatkan dengan teknologi pemendapan dibantu rasuk elektron, di mana rasuk elektron diarahkan pada permukaan wafer. Ini meningkatkan penjerapan lapisan permukaan optik relatif bahan sumber, menghasilkan sejumlah besar tekanan dalaman, yang menggalakkan ketumpatan yang lebih tinggi dan lebih ketahanan salutan.

Medan elektrostatik bertenaga tinggi boleh mempercepatkan pancaran elektron dalam pancaran elektron magnetron sputtering (IBS) penyalut vakum optik. Halaju segera ini mendorong tenaga mekanikal yang ketara dalam ion positif. Apabila berlanggar dengan bahan sumber, pancaran elektron "magnetron memecut" molekul bahan sasaran. Ion positif sasaran magnetron yang terpercik (molekul ditukar menjadi ion positif oleh zon hidrolisis) juga mempunyai tenaga mekanikal, menghasilkan filem yang ketat apabila bersentuhan dengan permukaan optik. IBS adalah teknik yang tepat dan boleh diulang.

Pelapis vakum optik Percikan magnetron plasma ialah istilah umum untuk siri teknologi seperti percikan magnetron plasma mewah dan percikan magnetron. Tidak kira apa jenis teknologi itu, ia termasuk penciptaan plasma. Ion positif dalam plasma dipercepatkan ke dalam bahan sumber, berlanggar dengan ion positif bertenaga longgar, dan kemudian magnetron terpercik ke keseluruhan komponen optik sasaran. Walaupun jenis sputtering magnetron plasma yang berbeza mempunyai ciri-ciri unik, kelebihan dan kekurangan, kita boleh menggabungkan teknologi ini bersama-sama, kerana mereka mempunyai prinsip yang sama, perbezaan antara mereka, bandingkan jenis teknologi salutan dan kertas Teknik salutan lain yang diliputi dalam adalah kurang berbeza antara satu sama lain.

Tidak seperti pemendapan volatilisasi, bahan sumber yang digunakan untuk pemendapan lapisan molekul (ALD) tidak meruap daripada cecair, tetapi serta-merta wujud dalam bentuk wap. Walaupun proses menggunakan wap, suhu persekitaran yang tinggi masih diperlukan dalam sistem vakum. Dalam keseluruhan proses ALD, prekursor kromatografi gas dihantar mengikut nadi tunggal yang tidak berjalin, dan nadi tunggal dikekang sendiri. Pemprosesan jenis ini mempunyai skema reka bentuk kimia yang unik, setiap nadi tunggal hanya mematuhi satu lapisan, dan tidak ada keperluan khas untuk geometri lapisan permukaan optik. Oleh itu, jenis pemprosesan ini membolehkan kita mengawal ketebalan dan reka bentuk salutan ke tahap yang agak tinggi, tetapi ia akan mengurangkan kelajuan pengumpulan.