Prinsip kawalan tekanan peralatan salutan vakum

1. Latar Belakang Pengenalan
Peralatan salutan vakum adalah sejenis peralatan yang digunakan secara meluas dalam pengeluaran perindustrian. Fungsi utamanya adalah untuk meletakkan bahan yang perlu dilapisi ke dalam ruang salutan vakum, dan melalui reaksi di bawah suhu tinggi dan persekitaran vakum yang tinggi, lapisan filem sama rata di permukaan bahan. , dan membentuk lapisan salutan tertentu dengan fungsi dan ciri khas. Antaranya, tahap vakum dan kadar lekatan dalam peralatan adalah petunjuk penting yang mempengaruhi kualiti lapisan salutan, dan kestabilan ijazah vakum bergantung kepada kawalan tekanan dalam peralatan.
2. Prinsip kawalan tekanan peralatan salutan vakum
1. Definisi ijazah vakum
Sebelum memperkenalkan prinsip kawalan tekanan, perlu memperkenalkan apa vakum. Dalam fizik, vakum merujuk kepada persekitaran gas yang tekanannya kurang daripada tekanan atmosfera, jadi tahap vakum merujuk kepada tekanan gas di ruang tertentu. Secara umum, vakum biasanya diukur dalam bar pascals (PA) atau meter (mbar). Dalam peralatan salutan vakum, pelbagai vakum biasa ialah 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Prinsip kawalan tekanan
Apabila vakum terlalu tinggi atau terlalu rendah, ia akan menjejaskan operasi biasa peralatan. Oleh itu, adalah perlu untuk mengawal tahap vakum dalam peralatan melalui kaedah tertentu. Antaranya, kawalan tekanan adalah kaedah kawalan yang agak mudah dan cekap. Khususnya, prinsip kawalan tekanan adalah menggunakan pengawal tekanan untuk mengawal kadar aliran gas dalam peralatan dengan mengesan tekanan hujung terkawal, dan kemudian melalui mekanisme maklum balas, dengan mengawal pembukaan injap, untuk mencapai tujuan mengawal tekanan.
3. Komposisi asas pengawal tekanan
Dalam peralatan salutan vakum, pengawal tekanan biasanya digunakan untuk mengawal tekanan. Komposisi asasnya termasuk empat bahagian: sensor pengesanan, pengawal, penggerak dan sistem kawalan.
Sensor Pengesanan: Ia digunakan terutamanya untuk mengesan perubahan tekanan hujung terkawal dan mengubahnya menjadi output isyarat elektrik yang sepadan untuk digunakan oleh pengawal.
Pengawal: Ia terutamanya menerima output isyarat elektrik oleh sensor, proses dan menganalisisnya, dan kemudian memberi makan hasil analisis kembali kepada penggerak untuk mengawal tahap pembukaan penggerak.
Penggerak: Ia terutamanya mengawal kadar aliran gas dalam peralatan dengan mengawal tahap pembukaan injap, untuk mencapai tujuan mengawal tekanan.
Sistem Kawalan: Ia digunakan terutamanya untuk memantau dan mengawal pelbagai petunjuk dalam peralatan, seperti suhu, ijazah vakum, dan lain -lain, dan membuat satu siri strategi kawalan.
3. Ringkasan
Ringkasnya, prinsip kawalan tekanan dalam peralatan salutan vakum adalah untuk mengawal tekanan dalam peralatan melalui mekanisme maklum balas yang agak mudah dan cekap. Untuk mewujudkan sistem kawalan yang stabil memerlukan sokongan teknikal pelbagai aspek sistem kawalan peralatan, seperti pemantauan parameter, algoritma kawalan, kawalan penggerak, hubungan sistem, dan lain -lain. Faktor -faktor teknikal ini memerlukan kerjasama kakitangan profesional dan teknikal tertentu untuk memastikan peralatan itu dapat menunjukkan prestasi yang lebih baik.