Fahami bagaimana proses salutan vakum direalisasikan

Salutan vakumadalah proses yang digunakan untuk mengeluarkan bahan-bahan filem nipis berkualiti tinggi. Ia menghasilkan filem -filem nipis dengan bahan -bahan organik atau bukan organik yang menguap secara termal ke permukaan substrat di bawah keadaan vakum. Artikel ini akan memperkenalkan pelaksanaan salutan vakum secara terperinci.

Proses salutan vakum termasuk langkah -langkah berikut:

1. Pilih substrat dan bahan yang betul

Memilih substrat dan bahan yang betul adalah langkah pertama dalam salutan vakum. Substrat boleh menjadi kaca, plastik, logam atau nanomaterials lain. Bahan boleh menjadi organik atau bukan organik, seperti logam, semikonduktor, oksida atau nitrida.

2. Muatkan sistem salutan vakum

Langkah kedua ialah memuat substrat dan bahan ke dalam sistem salutan vakum. Sistem salutan vakum termasuk ruang vakum, penyejat logam, sputter dan sistem kawalan. Ruang vakum adalah ruang tertutup yang digunakan untuk mengekalkan persekitaran vakum, penyejat logam dan sputters adalah peranti yang digunakan untuk menguap atau bahan sputter ke substrat, dan sistem kawalan digunakan untuk memantau dan menyesuaikan persekitaran vakum dan penyejatan bahan atau kelajuan sputtering.

3. Vacuum

Selepas memuat bahan dan substrat, ruang vakum perlu dipindahkan. Vacuuming adalah langkah yang sangat penting, kerana mengekalkan tekanan rendah dan persekitaran kesucian yang tinggi dapat menjamin kualiti membran. Persekitaran vakum biasanya di bawah 10^-6 mbar untuk mengecualikan molekul gas dan bahan pencemar lain.

4. Penyejatan Bahan atau Sputtering

Apabila persekitaran vakum mencapai tekanan yang dikehendaki, bahan itu boleh disejat atau sputtered ke substrat. Terdapat dua kaedah penyejatan bahan: penyejatan haba dan penyejatan rasuk elektron. Sputtering juga mempunyai dua kaedah: magnetron sputtering dan arc sputtering. Kaedah mana yang digunakan, penyejatan bahan atau kadar sputtering dan ketebalan filem perlu dikawal.

5. Buat filem multilayer

Sebaik sahaja membran satu lapisan telah dibuat, pelbagai lapisan boleh disusun bersama untuk membentuk komposit. Bahan-bahan dan proses pemendapan yang berbeza boleh digunakan, seperti pemendapan bergantian, pematuhan bahan berbilang senjata, dan pemendapan zon.

6. Ujian Kualiti Membran

Langkah terakhir adalah untuk menguji kualiti membran. Ujian boleh termasuk ketebalan, sifat fizikal, sifat optik dan sifat elektrik, antara lain. Tentukan sama ada bahan membran memenuhi keperluan mengikut keputusan ujian.

Singkatnya, teknologi salutan vakum adalah kaedah untuk mencapai filem nipis berkualiti tinggi. Ia perlu memilih substrat dan bahan yang sesuai, memuatkan sistem salutan vakum, mengosongkan, bahan menguap atau sputter, membuat filem berbilang lapisan dan menguji kualiti filem. Teknologi salutan vakum telah digunakan secara meluas dalam bidang elektronik, optik, perubatan dan tenaga.